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SLP DATA 처리용 M파일

연구노트 2011. 9. 23. 15:46

clear all;

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%parameter%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

%% use mks unit

R=1000;

C_e=1.602*10^(-19);

m_e=9.107*10^(-31); %% cgs -> 9.107*10^(-28)

k = 1.380622*10^(-23); %% J/K

M_i=6.6423*10^(-26); %Ar의 질량

%M_i=6.6423*10^(-27); %He의 질량

R_probe=0.00015; %% 150um

L_probe=0.008; %% 8mm

A_probe=2*pi*R_probe*L_probe;

alpha_0=0.61; %% cylindrical tip - comp coeff

%alpha_0=0.5; %% planar tip

epsilon_0 = 8.854*10^(-12); %% F/m

mu_argon = 40;

quant_step = 1000;

linearfit_offset = 10;

linearfit_sample = 50;

%% 이온 전류를 피팅할 때 V_f 로부터 몇번째 뒤의 지점까지 삭제할 것인지 결정한다.

I_fit_offset = 70;

%% 몇번째 미분 0 지점을 V_p로 선택할지 결정한다.

V_p_candidate = 1;

%% 계산시 생성되는 모든 그림과 데이타를 얻고 싶으면 1로 한다.

%% 데이타 필요 없이, 단순히 빠른 계산을 원하면 0으로 한다.

print_all = 1;

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%data읽어들이기%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

folder='F:/meeting/20110916_slp/1mTorr/pt1/1000W/0W/';

i1a = strcat(folder,'0.csv');

i1b = strcat(folder,'1.csv');

I_1a=dlmread(i1a,',',5,0);

I_1b=dlmread(i1b,',',5,0);

V_raw1=I_1a(:,2);

V_raw2=I_1b(:,2);

clear I_1a;

clear I_1b;

V__raw = smooth(V_raw1);

V_raw2 = smooth(V_raw2);

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%% raw I-V 커브 %%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

I__raw=(V__raw - V_raw2)/R;

%plot(V__raw,I__raw);

clear V_raw1;

clear V_raw2;

maxval = max(V__raw) - 5;

minval = min(V__raw) + 5;

V__quant = linspace(minval,maxval,quant_step);

I__val = zeros(quant_step,1);

I__quant_count = zeros(quant_step,1);

for(i = 1:1:length(V__raw)-1)

for(j = 1:1:quant_step)

if(V__raw(i) < (minval-quant_step) || V__raw(i) > (maxval)) continue;

end

if(V__raw(i) <= V__quant(j))

I__val(j) = I__val(j) + I__raw(i);

I__quant_count(j) = I__quant_count(j) + 1;

break;

end

clear I__raw;

clear V__raw;

for(i = 1:1:quant_step)

I__val(i) = I__val(i) / I__quant_count(i);

end

clear I__quant_count;

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

%% 그래프를 1차, 2차 미분하고 smooth 한다.

smooth_temp = smooth(V__quant,I__val,50,'sgolay');

I__val_smooth = smooth(V__quant,smooth_temp,'lowess');

if(print_all == 1)

outfile = strcat(folder,'iv.csv');

fout = fopen(outfile,'w');

for(j = 1:1:length(V__quant))

fprintf(fout,'%f,%f\r\n',V__quant(j),I__val_smooth(j));

end

fclose(fout);

end

clear smooth_temp;

I_1st_diff = diff(I__val_smooth);

smooth_temp = smooth(V__quant(1:(end-1)),I_1st_diff,50,'sgolay');

I_1st_diff_smooth = smooth(V__quant(1:(end-1)),smooth_temp,'lowess');

if(print_all == 1)

outfile = strcat(folder,'1st_diff_iv.csv');

fout = fopen(outfile,'w');

for(j = 1:1:length(V__quant)-1)

fprintf(fout,'%f,%f\r\n',V__quant(j),I_1st_diff_smooth(j));

end

fclose(fout);

end

clear smooth_temp;

I_2nd_diff = diff(I_1st_diff_smooth);

smooth_temp = smooth(V__quant(1:(end-2)),I_2nd_diff,50,'sgolay');

I_2nd_diff_smooth = smooth(V__quant(1:(end-2)),smooth_temp,'lowess');

if(print_all == 1)

outfile = strcat(folder,'2nd_diff_iv.csv');

fout = fopen(outfile,'w');

for(j = 1:1:length(V__quant)-2)

fprintf(fout,'%f,%f\r\n',V__quant(j),I_2nd_diff_smooth(j));

end

fclose(fout);

end

clear smooth_temp;

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

plot(V__quant,I__val,V__quant,I__val_smooth);

title('SLP I- V curves');

xlabel('voltage(V)');

ylabel('current(I)');

outfile = strcat(folder,'IV_curve.tiff');

print('-dtiff',outfile);

clear I__val;

if(print_all == 1)

plot(V__quant(1:(end-1)),I_1st_diff,V__quant(1:(end-1)),I_1st_diff_smooth);

title('SLP 1st diff of I- V curves');

xlabel('voltage(V)');

ylabel('dI/dV');

outfile = strcat(folder,'I_1st_diff.tiff');

print('-dtiff',outfile);

end

clear I_1st_diff;

if(print_all == 1)

plot(V__quant(1:(end-2)),I_2nd_diff,V__quant(1:(end-2)),I_2nd_diff_smooth);

title('SLP 2nd diff of I- V curves');

xlabel('voltage(V)');

ylabel('d2I/dV2');

outfile = strcat(folder,'I_2nd_diff.tiff');

print('-dtiff',outfile);

end

clear I_2nd_diff;

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

%% V_f 를 구한다. (I=0 이 되는 V 값)

%% V_f 는 fast primanry 전자가 있거나 rf 보정이 안될수록 작게 나타난다.

for(j = 1:1:length(V__quant)-1)

if(I__val_smooth(j) <= 0 && (I__val_smooth(j+1) > 0))

V_f = V__quant(j);

V_f_num = j;

break;

end

if(j == length(V__quant)-1)

fprintf('Error -- There is no V_f..\n');

else

fprintf('V_f is %f\r\n',V_f);

end

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

%% V_p의 candidate들을 를 구한다 (플라즈마 포텐셜)

%% V_p 는 반드시 V_f 보다 커야한다!!

%% 이 값을 이용하여 T_ev 값을 구한다

fprintf('V_p (approximated) candidate:\n');

k = 0;

for(j = V_f_num:1:length(V__quant) - 3)

if(I_2nd_diff_smooth(j) <= 0 && I_2nd_diff_smooth(j+1) > 0)

k = k+1;

if(k == V_p_candidate) %% 대부분의 Vp는 첫번째 미분 0 점에서 나타난다.!!

V_p = V__quant(j);

V_p_num = j;

end

fprintf('%dth candidate : Vp( %f ), Tev(~ %f )\n',k,V__quant(j),(V__quant(j) - V_f) / log(2 * M_i / pi / m_e)/ alpha_0);

end

fprintf('Selected V_p : %f\r\n',V_p);

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

%% 대략적인 Tev를 구한다. Ie 커브만을 이용해야 하나 지금 단계에서는 Iion 도 같이 들어있다.(대략적)

%% Tev를 구하기 위해서 적당히 잘라낸다. 시작점은 Vf 이다.

ln_I__e = log(I__val_smooth);

for(j = 1:1:linearfit_sample+linearfit_offset)

V_e(j) = V__quant(j + V_f_num);

ln_I_e(j) = ln_I__e(j + V_f_num);

end

pp = polyfit(V_e(linearfit_offset :end),ln_I_e(linearfit_offset:end),1);

Tev_fit = polyval(pp,V_e);

plot(V__quant,ln_I__e,V_e,Tev_fit);

title('Electron saturation current');

xlabel('Voltage');

ylabel('Current(ln)');

outfile = strcat(folder,'Tev_fiting.tiff');

print('-dtiff',outfile);

Tev_1 = 1/pp(1);

fprintf('Approximated Tev is ~%f\r\n',Tev_1);

clear V_e;

clear Tev_fit;

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

%% 밀도를 대략적으로 측정한다

%% I_B = alpha * n * e * A * sqrt(k * Te / M)

%% 플라즈마 포텐셜에서의 이온 전류는 0 으로 근사하여, Ie(Vp) ~ I(Vp) 로 가정하자

%% alpha ~ 0.5 planar tip

%% alpha ~ 0.61 cylindrical tip

density_1 = I__val_smooth(V_p_num) / C_e / A_probe / sqrt(Tev_1 * C_e / 2 / pi / m_e);

fprintf('Density from I(Vp) ~ Ie(Vp) : %e (cm-3)\r\n',density_1/1000000); %% c=> m-3

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

%% 디바이 거리 등 여러 플라즈마 변수를 측정한다.

debye_len = sqrt(epsilon_0 * Tev_1 / density_1 / C_e);

Xi = R_probe / debye_len;

eta_f = -(V_f - V_p) / Tev_1;

sheath_len = 1/3*sqrt(2 / alpha_0) * (2 * eta_f) ^ (3/4) * debye_len;

Cs = sqrt(Tev_1 * C_e / M_i); %% bohm velocity

fprintf('Debye length is ~%f (m)\r\n',debye_len);

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

%% 밀도를 정확하게 측정한다

%% Orbit Motion Limit(OML) theory 를 이용한다.

%% sheath 가 probe 보다 훨씬 커야 한다. (밀도가 낮아야 한다)

I_val_square = I__val_smooth(1:V_f_num).^2;

coef_pf1 = polyfit(V__quant(1:V_f_num-I_fit_offset),transpose(I_val_square(1:V_f_num-I_fit_offset)),1);

pf1 = polyval(coef_pf1,V__quant(1:V_f_num));

plot(V__quant(1:V_f_num),I_val_square,V__quant(1:V_f_num),pf1);

title('Extrapolation of I^2 curve');

xlabel('Voltage');

ylabel('I^2');

outfile = strcat(folder,'Ion_fiting_2.tiff');

print('-dtiff',outfile);

I_ion_f = sqrt(pf1(V_f_num));

density_2 = I_ion_f / A_probe / C_e / sqrt( 2* abs(C_e * V_f) / M_i) * pi;

fprintf('Density from OML method : %e (cm-3) \n',density_2/1000000);

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

%% 밀도를 정확하게 측정한다

%% Moderate density rf plasmas 방법을 이용한다.

%% ICP 플라즈마의 경우에 맞는다 밀도가 10^10 ~ 10^12 사이일 때에..

I_val_43 = I__val_smooth(1:V_f_num).^4;

I_val_43 = I_val_43.^(1/3);

coef_pf2 = polyfit(V__quant(1:V_f_num-I_fit_offset),transpose(I_val_43(1:V_f_num-I_fit_offset)),1);

pf2 = polyval(coef_pf2,V__quant(1:V_f_num));

plot(V__quant(1:V_f_num),I_val_43,V__quant(1:V_f_num),pf2);

title('Extrapolation of I^(4/3) curve');

xlabel('Voltage');

ylabel('I^(4/3)');

outfile = strcat(folder,'Ion_fiting_43.tiff');

print('-dtiff',outfile);

I_ion_f = pf2(V_f_num) ^ (3/4);

density_3 = I_ion_f / 2 / pi / (R_probe + sheath_len) / C_e / L_probe / alpha_0 / Cs;

fprintf('Density from FP method(work well at ICP plasma) : %e (cm-3) \n',density_3/1000000);

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

%% EEDF 를 구한다.

for(j = 1:1:200);

V_EEDF(j) = V_p - V__quant(V_p_num - j);

EEDF(j) = -I_2nd_diff_smooth(V_p_num - j);

end

norm(EEDF);

plot(V_EEDF,EEDF);

title('EEDF');

xlabel('eV');

ylabel('EEDF');

outfile = strcat(folder,'eedf.tiff');

print('-dtiff',outfile);

%% END OF PROGRAM

Posted by 힝크

DLP analyzer (매트랩용 m파일)

연구노트 2011. 9. 19. 15:34

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%parameter%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

%% 저항 세팅. 반드시 먼저!!!

R=100000;

%% 데이타 파일이 담겨있는 폴더 지정

folder='F:/meeting/20110902_micp_without_m/1mTorr_EH/pt1/1700w_r/';

%% 양쪽단 저항 앞뒤의 전압을 측정한 4개의 csv 파일이 필요하다.

file1name = 'C2000000.csv';

file2name = 'C2000001.csv';

file3name = 'C2000002.csv';

file4name = 'C2000003.csv';

C_e=1.602*10^(-19);

m_e=9.107*10^(-31);

k = 1.380622*10^(-23);

M_i=6.6423*10^(-26);%Ar의 질량

%M_i=6.6423*10^(-27);%He의 질량

R_probe=0.00015;

L_probe=0.008;

A_probe=2*pi*R_probe*L_probe;

A_r=1+R_probe/(2*L_probe);

alpha_0=0.61;

%alpha_0=0.5;

epsilon=8.854*10^(-12);

k=1.38062*10^(-23);

quant_step = 500;

data_range = 70;

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%data읽어들이기%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

%% 이 다음부터의 코드는 수정할 필요가 없다. !!!!

i1a = strcat(folder,file1name);

i1b = strcat(folder,file2name);

i2a = strcat(folder,file3name);

i2b = strcat(folder,file4name);

I_1a=dlmread(i1a,',',5,0);

I_1b=dlmread(i1b,',',5,0);

I_2a=dlmread(i2a,',',5,0);

I_2b=dlmread(i2b,',',5,0);

time_=I_1a(:,1);

V_raw1=I_1a(:,2);

V_raw2=I_1b(:,2);

V_raw3=I_2a(:,2);

V_raw4=I_2b(:,2);

clear I_1a;

clear I_1b;

clear I_2a;

clear I_2b;

V_raw1 = smooth(V_raw1);

V_raw2 = smooth(V_raw2);

V_raw3 = smooth(V_raw3);

V_raw4 = smooth(V_raw4);

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%% raw I-V 커브 %%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

V__raw = V_raw2 - V_raw4;

I__raw=((V_raw1 - V_raw2)/R - (V_raw3 - V_raw4)/R)/2;

clear V_raw1;

clear V_raw2;

clear V_raw3;

clear V_raw4;

maxval = max(V__raw);

if(maxval >= data_range)

maxval = data_range;

end;

minval = min(V__raw);

if(minval <= -data_range)

minval = -data_range;

end

V__quant = linspace(minval,maxval,quant_step);

I__val = zeros(quant_step,1);

I__quant_count = zeros(quant_step,1);

for(i = 1:1:length(V__raw)-1)

for(j = 1:1:quant_step)

if(V__raw(i) < -(data_range+quant_step))

continue;

end;

if(V__raw(i) > (data_range))

continue;

end;

if(V__raw(i) <= V__quant(j))

I__val(j) = I__val(j) + I__raw(i);

I__quant_count(j) = I__quant_count(j) + 1;

break;

end

clear I__raw;

clear V__raw;

for(i = 1:1:quant_step)

I__val(i) = I__val(i) / I__quant_count(i);

end

clear I__quant_count;

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%% Data 분석 %%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

pf1_coef = polyfit(V__quant(1:100),transpose(I__val(1:100)),1);

pf1 = polyval(pf1_coef,V__quant);

I_sat1 = pf1_coef(2);

pf2_coef = polyfit(V__quant(end-99:end),transpose(I__val(end-99:end)),1);

pf2 = polyval(pf2_coef,V__quant);

I_sat2 = pf2_coef(2);

pf3_coef = polyfit(V__quant(quant_step/2 - 50:quant_step/2 + 50),transpose(I__val(quant_step/2 - 50:quant_step/2 + 50)),1);

pf3 = polyval(pf3_coef,V__quant);

Isat = (-I_sat1 + I_sat2)/2;

Islop = pf3_coef(1);

T_ev = Isat / Islop / 2;

C_s=sqrt(T_ev*C_e/M_i);

eta_f=log((1/alpha_0)*sqrt(M_i/(2*pi*m_e)));

beta=1.0*(eta_f^(3/4))*sqrt((epsilon*T_ev*C_e)/(C_e^2));

alpha=Isat/(2*pi*C_e*L_probe*alpha_0*C_s);

n=(2*R_probe*alpha+(beta^2)-sqrt((4*R_probe*alpha*(beta^2))+beta^4))/(2*(R_probe^2));

n=n/1000000;

%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%% Data 출력 %%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%%

fprintf('##########################################################\n');

fprintf('# DLP data analysis tool\n');

fprintf('# Before you use this val, check the graph!!\n');

fprintf('# made by Kim Hyuk(plasma lab,snu)\n');

fprintf('# comasur@gmail.com\r\n');

fprintf('I saturation : %f, dI/dV : %f \r\n',Isat,Islop);

fprintf('Tev : %f, density : %e \r\n',T_ev,n);

plot(V__quant,I__val,V__quant,pf1,V__quant,pf2,V__quant,pf3);

title('DLP I- V curves');

xlabel('voltage(V)');

ylabel('current(I)');

outfile = strcat(folder,'I_Vcurve.tiff');

print('-dtiff',outfile);

outfile = strcat(folder,'output.csv');

fout = fopen(outfile,'w');

for(j = 1:1:length(V__quant))

fprintf(fout,'%f,%f\r\n',V__quant(j),I__val(j));

end

fclose(fout);

Posted by 힝크

1.먼저 LENGTH SCALE 을 판단하기 위하여 근사적으로 플라즈마 온도와 밀도를 구한다. 쉬스가 collision 한 경우와 collisionless 의 경우에 적용될 수 있는 식이 다르며, 후자의 경우라도 쉬스의 두께가 두꺼운가 혹은 얇은가에 따라서 적용될 수 있는 식이 달라지기 때문에, 플라즈마 변수의 정확한 측정을 위해서는 이를 확정하는 작업이 필요하다. 편의를 위하여 이때에 근사식들을 이용하여 대충의 값만을 구한다.

1) 다음의 식을 이용하여 전자와 중성 입자간의 자유 행정 거리를 구한다.

2) 다음의 근사식을 이용하여 플라즈마 온도를 구한다.

3) electron saturation region(ESR) 을 이용하여 플라즈마 밀도를 구한다. 보통 ESR 을 이용하는 경우에는 ion saturation region(ISR)을 이용하는 것보다 정확하지 않다. 그 이유는 프루브 자체가 전자 등을 고갈시켜 정확한 값을 측정할 수 없게 하기 때문이다. 그러나 여기서는 근사적으로 구하는 것만으로도 충분하느로 ESR을 사용한다.

플라즈마 포텐셜에서는 대게 이온 포화 전류가 0 이 된다고 보므로, 이 때에 구하는 전류값은 전자 포화 전류값과 같다고 볼 수 있다. 이러한 사실을 바탕으로 다음 식을 이용하여 전자 밀도를 근사적으로 구할 수 있다.

4) 식(1.13)을 이용하여 드바이 거리를 구한다.

5) 일반적으로 쉬스의 사이즈는 드아비 거리를 4배하여 근사할 수 있다. 이 보다 프루브팁의 지름이 훨씬 크므로 이는 얇은 쉬스로 근사할 수 있다.

6) 중성자-전자간 자유 행정 거리가 드바이 거리보다 크므로 우리는 collisionless 라고 가정할 수 있다.

2. 플라즈마 포텐셜
polynomial fit 는 측정된 그래프를 미분하고자 할 때에 사용할 수 있는 가장 좋은 smooth 기법이다.

3.이온 전류의 측정
식 (3.10) 를 이용하여 밀도 n을 구한 후에 (3.9) 에 대입하여 전압에 따른 이온 전류의 그래프를 그려볼 수 있다. 플라즈마 포텐셜에서 이 값이 0 이 되는지 체크해본다.

4. 전자 전류의 측정
전체 그래프에서 위에서 구한 이온 전류를 빼주면 순수한 전자 전류만을 얻을 수 있다.

5. 전자 온도의 측정
1) 자연로그를 취하고 그래프를 그려본다. 에러에 의해서 나타난 몇몇 음수값이 그래프를 이상하게 보이게 한다.
linear fit 에 가까울 수록 전자 분포가 맥스웰리안을 잘 따르고 있다는 것을 증명하며, 커브가 나타난다면, 이는 고에너지 전자들에 의해서 non-Maxwellian 을 따른다는 것을 의미한다.

2) 선형 fit을 했을 때에 기울기값은 식(3-28)에서 보듯이 -e/kTe 가 되어 전자 온도를 구할 수 있다.

Posted by 힝크

E-BEAM 노광 장비...국내 현황

연구노트 2011. 5. 4. 10:42

한국 과기원 팹(micro-nano.re.kr)

Raith150 -2:
20nm 라인,

조각 시편만 가능, 수리한 지 오래되지 않아 보장할 수 없음

담당자 : 박승민 선임 연구원(958-6314)

나노팹..(KAIST)

ELS-7000:
8nm 라인, 0.3nm 분해능, 웨이퍼는 조각시편에서 8인치 웨이퍼까지...
50만원/시간당

JBS-9300FS:
20nm 패터닝, 20nm 분해능, 웨이퍼는 8인치까지..

학계의 경우 30% DC 가 된다.
75만원/시간당

참조:)
KRF : 50만(기본료) + 웨이퍼당 8만
I-LINER : 35만(기본료) + 웨이퍼당 8만

고려대학교 공동실험실

의뢰는 안되며 SELF 작업이 원칙
방학 기간에 "나노 형상화 교육 과정"을 듣고 시험에 패스한 사람에 한하여 사용 가능

담당자 : 3290-3801

반도체 공동 연구소

1년 1회(연초) 교육.
담당자 : 우일남

포항 나노 기술 직접 센터

ELS-7000:
8nm 선폭
조각 시편에서 8인치 웨이퍼까지..
50만원/시간당

ELS-7800:
8나노 선폭, 해상도는 0.3nm
조각시편에서 8인치 웨이퍼까지..
45만원/시간당

담당자 : 노병훈(054-279-0227)

울산과기대

NB-3:
5nm 선폭.
웨이퍼는 8인치까지

담당자 : 임동주( 052-217-4032)

경북대 반도체 공정 교육 및 지원 센터

Raith150:

20만원/30분 - 의뢰시에

성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연

Raith:

담당자 : 김윤식(031-299-6606)

광주과기원 광전자 연구실

EFI:

Posted by 힝크

DLP 측정 방법.

연구노트 2011. 4. 26. 11:33

#. 두개의 파일이 필요하다. (dlp_average2.m , dlp_calc.m)

1. 오실로스코프로 4개의 파형을 찍는다.

채널당 두개(전류 센싱 저항 앞단, 후단).
DLP는 반드시 FLOATING 되어야 하며, 프루브의 접지는 챔버의 접지에 연결한다.

2. 4개의 파형 저장하여 같은 폴더에 넣고 이를 dlp_average.m 파일로 돌린다.

돌리기 전에 해당 부분을 수정한다

--------------------------------

if(folder=='0')

folder='F:/meeting/20110426/DLP_DUAL_FREQ/5mTorr/2M_200W/13M_100W/';

end

i1a = strcat(folder,'C11kw00000.csv');

i1b = strcat(folder,'C11kw00001.csv');

i2a = strcat(folder,'C11kw00002.csv');

i2b = strcat(folder,'C11kw00003.csv');

------------------------------

3. 4개의 출력된 파일을 볼 수 있다.

output.csv, raw1.tiff, raw2.tiff, raw3.tiff

< averaging 을 통해 구한 DLP 의 I-V 파형 >

4. origin pro 를 이용하여 output.csv 를 import 하고 그래프를 그린다.

5. draw line 을 이용하여 ion saturation 지점을 찾는다. (y축과 만나는 두 지점을 평균한 값)

6. 센터부분만 떼어내서 표로 만든 후에 다시 그래프를 그린다.

7. Fit linear 를 통해서 기울기를 찾는다 I_slop

8. 두 값을 dlp_calc() 에 대입하여 전자온도와, 플라즈마 밀도를 구할 수 있다.

Posted by 힝크

앞으로 할 일 계획.

연구노트 2011. 4. 25. 15:24

Dual frequency RF bias 에 따른 플라즈마 파라메타 측정

2MHz, 13.56MHz 파워 비율 바꿔가면서 DLP 측정...(at 5mTorr condtion)

Posted by 힝크

dye 레이저..수리

연구노트 2011. 4. 22. 15:07

dye 순환 펌프가 돌지 않는 문제..

알고 보니..(삽질, 삽질을 계속해서)

라인 안에 용매가 어느 정도 들어있어야만 음압이 발생하여 펌핑이 이루어진다.

이를 이용하여, 주사기를 사용하여 라인안에 dye를 강제 주입하였다.

어느 정도 주입하자 펌핑이 시작.. 수리 완료.

Posted by 힝크

스위칭 파워 서플라이..

연구노트 2011. 4. 13. 13:48

아웃풋 CAP 에는 실제 회로에서 저항이 발생하기 때문에 Rest 를 고려해야한다.

Resr(equivalent-series-resistance)

Resr 의 존재의 의해 f = (1/2piResr C) 의 zero 가 발생

Posted by 힝크

JVST 등재 요령

연구노트 2011. 4. 12. 14:06

학술지 JVST

-> 미국 진공학회(AVS)의 학술지임
A,B 가 있는데 플라즈마 TECH 는 A에 해당

내용

Aricles
이 저널은 두가지 종류의 논문을 출판한다. 최초의 리서치.. 기 타등등. 모든 논문은 abstract를 포함해야한다.

Breif Reports and Comments

..

Abstracts
추록은 인덱스 기능과 요약 기능을 가지며, 새로운 정보가 있어야 한다. 또한 결론을 담고 있어야 한다.

Manuscript submisssions

JVST에서 출판되기 위해서는 아래 조건을 만족해야한다.
(1) 이전에 출간된 적이 없는 최초 발견, 결론 분석,
(2) 에러나 모호함이 없어야 하며
(3) 결론을 뒷받침하는 데이터나 분석이 있어야 하며
(4) 분명하게 써있어야 하며
(5) 저널의 해당 토픽 분야에서 impact 가 있어야 한다.

Electronic text files

MS 워드나 pdf 가 허용된다. 이미지 파일을 포함하는 한개의 pdf 도 좋다.

Title

Author names and affiliations

Abstract

Main text

Acknowledgements

Appendix

References

Tables

Figure captions

Figures

하나의 그림은 하나의 페이지에 놓는다. a,b,c 등으로 구분된 경우도 모두 하나의 페이지에 놓는다.

그러나 일단 논문이 받아들여지면, MSWord 나 ...

Style

AIP 스타일을 따른다.

References

AIP 스타일을 따른다

예)

S. Gomez, R. J. Belen, M. Kiehlbauch, and E. S. Aydil, J. Vac. Sci. Technol. A 22, 606 (2004).

H. Lamb, Hydrodynamics, 6th ed. (Cambridge University Press, Cambridge, England, 1940), pp. 573, 645.

Posted by 힝크

inp 파일 분석석

연구노트 2010. 7. 27. 15:08

nsp : 가스종류

nc

nc2p

dt[s]

length[m]

area[m^2]

Epsilonr

B[T]

PSI[D]

rhoback[C/m^3]

backj[Amp/m^2]

dde

extR[Ohm]

extL[H]

extC[F]

q0

dcramped - 1 or 0 (소스가 램프파형인지 여부)

source - C or I (전압 소스 혹은 전류 소스 선택)

dc[V|amp] - dc 성분의 전압 혹은 전류값

dcramped[V/s] - (dc 램프 파형일때 초당 기울기)

ac[V|amp] - ac 성분의 전압 혹은 전류값

f0[Hz] - ac 성분의 주파수

theta0

Posted by 힝크

김본좌(동명이인)의 박사급 라이프

'연구노트'에 해당되는 글 35건

SLP DATA 처리용 M파일

DLP analyzer (매트랩용 m파일)

SLP 의 해석

E-BEAM 노광 장비...국내 현황

DLP 측정 방법.

앞으로 할 일 계획.

dye 레이저..수리

스위칭 파워 서플라이..

JVST 등재 요령

inp 파일 분석석

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