E-BEAM 노광 장비...국내 현황

한국 과기원 팹(micro-nano.re.kr)

Raith150 -2:
20nm 라인, 

조각 시편만 가능, 수리한 지 오래되지 않아 보장할 수 없음

담당자 : 박승민 선임 연구원(958-6314)

나노팹..(KAIST)

ELS-7000: 
8nm 라인, 0.3nm 분해능, 웨이퍼는 조각시편에서 8인치 웨이퍼까지...
50만원/시간당

 JBS-9300FS:
20nm 패터닝, 20nm 분해능, 웨이퍼는 8인치까지..

학계의 경우 30% DC 가 된다.
75만원/시간당

 참조:)
KRF : 50만(기본료) + 웨이퍼당 8만
I-LINER :  35만(기본료) + 웨이퍼당 8만
 
고려대학교 공동실험실

의뢰는 안되며 SELF 작업이 원칙 
방학 기간에 "나노 형상화 교육 과정"을 듣고 시험에 패스한 사람에 한하여 사용 가능

담당자 : 3290-3801

반도체 공동 연구소

1년 1회(연초) 교육. 
담당자 : 우일남

포항 나노 기술 직접 센터

 ELS-7000:
 8nm 선폭
조각 시편에서 8인치 웨이퍼까지..
50만원/시간당

ELS-7800:
8나노 선폭, 해상도는 0.3nm
조각시편에서 8인치 웨이퍼까지..
45만원/시간당

담당자 : 노병훈(054-279-0227)

울산과기대

NB-3:
5nm 선폭. 
웨이퍼는 8인치까지

담당자 : 임동주( 052-217-4032)

경북대 반도체 공정 교육 및 지원 센터

Raith150:

20만원/30분 - 의뢰시에

성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연

Raith:

담당자 : 김윤식(031-299-6606)

광주과기원 광전자 연구실

EFI: