앞으로 할 일 계획.

연구노트 2011. 4. 25. 15:24

Dual frequency RF bias 에 따른 플라즈마 파라메타 측정

2MHz, 13.56MHz 파워 비율 바꿔가면서 DLP 측정...(at 5mTorr condtion)

 
Posted by 힝크
openclose

티스토리툴바