DLP 측정 방법.

#. 두개의 파일이 필요하다. (dlp_average2.m , dlp_calc.m)

1. 오실로스코프로 4개의 파형을 찍는다.

채널당 두개(전류 센싱 저항 앞단, 후단).
DLP는 반드시 FLOATING 되어야 하며, 프루브의 접지는 챔버의 접지에 연결한다.

2. 4개의 파형 저장하여 같은 폴더에 넣고 이를 dlp_average.m 파일로 돌린다.

돌리기 전에  해당 부분을 수정한다

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if(folder=='0')

    folder='F:/meeting/20110426/DLP_DUAL_FREQ/5mTorr/2M_200W/13M_100W/';

end

i1a = strcat(folder,'C11kw00000.csv');

i1b = strcat(folder,'C11kw00001.csv');

i2a = strcat(folder,'C11kw00002.csv');

i2b = strcat(folder,'C11kw00003.csv');

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3. 4개의 출력된 파일을 볼 수 있다.

output.csv, raw1.tiff, raw2.tiff, raw3.tiff

  < averaging 을 통해 구한 DLP 의 I-V 파형 > 

4. origin pro 를 이용하여 output.csv 를 import 하고 그래프를 그린다.

5. draw line 을 이용하여 ion saturation 지점을 찾는다. (y축과 만나는 두 지점을 평균한 값)

6. 센터부분만 떼어내서 표로 만든 후에 다시 그래프를 그린다.

7. Fit linear 를 통해서 기울기를 찾는다 I_slop

8. 두 값을 dlp_calc() 에 대입하여 전자온도와, 플라즈마 밀도를 구할 수 있다.