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- 2011.05.04 E-BEAM 노광 장비...국내 현황
E-BEAM 노광 장비...국내 현황
연구노트 2011. 5. 4. 10:42
한국 과기원 팹(micro-nano.re.kr)
Raith150 -2:
20nm 라인,
조각 시편만 가능, 수리한 지 오래되지 않아 보장할 수 없음
담당자 : 박승민 선임 연구원(958-6314)
나노팹..(KAIST)
ELS-7000:
8nm 라인, 0.3nm 분해능, 웨이퍼는 조각시편에서 8인치 웨이퍼까지...
50만원/시간당
JBS-9300FS:
20nm 패터닝, 20nm 분해능, 웨이퍼는 8인치까지..
학계의 경우 30% DC 가 된다.
75만원/시간당
참조:)
KRF : 50만(기본료) + 웨이퍼당 8만
I-LINER : 35만(기본료) + 웨이퍼당 8만
고려대학교 공동실험실
의뢰는 안되며 SELF 작업이 원칙
방학 기간에 "나노 형상화 교육 과정"을 듣고 시험에 패스한 사람에 한하여 사용 가능
담당자 : 3290-3801
반도체 공동 연구소
1년 1회(연초) 교육.
담당자 : 우일남
포항 나노 기술 직접 센터
ELS-7000:
8nm 선폭
조각 시편에서 8인치 웨이퍼까지..
50만원/시간당
ELS-7800:
8나노 선폭, 해상도는 0.3nm
조각시편에서 8인치 웨이퍼까지..
45만원/시간당
담당자 : 노병훈(054-279-0227)
울산과기대
NB-3:
5nm 선폭.
웨이퍼는 8인치까지
담당자 : 임동주( 052-217-4032)
경북대 반도체 공정 교육 및 지원 센터
Raith150:
20만원/30분 - 의뢰시에
성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연
Raith:
담당자 : 김윤식(031-299-6606)
광주과기원 광전자 연구실
EFI:
