연구노트
앞으로 할 일 계획.
힝크
2011. 4. 25. 15:24
Dual frequency RF bias 에 따른 플라즈마 파라메타 측정
2MHz, 13.56MHz 파워 비율 바꿔가면서 DLP 측정...(at 5mTorr condtion)