연구노트
논문리뷰:SP를 파장 이하의 크기로 포커싱하거나 가이딩
힝크
2008. 11. 19. 08:23
장비 셋업
532nm 레이저 + 편광 + 하프 플레이트 + 0.5mm 이하로 포커싱
알루미늄 코팅된 파이버로 스캐닝
506nm 파장을 PMT 로 디텍팅
샘플
50nm 은/100nm 크롬 샘플에 지름이 5um 인 호를 그리며 200nm 짜리 구멍을 판다.
4um 정도 길이 250nm폭의 stripe로 가이딩
532nm 레이저 + 편광 + 하프 플레이트 + 0.5mm 이하로 포커싱
알루미늄 코팅된 파이버로 스캐닝
506nm 파장을 PMT 로 디텍팅
샘플
50nm 은/100nm 크롬 샘플에 지름이 5um 인 호를 그리며 200nm 짜리 구멍을 판다.
4um 정도 길이 250nm폭의 stripe로 가이딩